РАЗРАБОТКА ИНТЕГРАЛЬНЫХ МЭМС-ПАВ-ДАТЧИКОВ УСКОРЕНИЯ
DOI
10.33286/2075-8693-2018-37-74-82
Авторы
Строганов Кирилл Александрович – начальник сектора изделий функциональной электроники отдела микросистемотехники ОАО «Авангард». E-mail: stroganoff2000@mail.ru.
Бакулин Евгений Михайлович – инженер-технолог ОАО «Авангард». E-mail: bakulin.evg@gmail.com.
Пащенко Владимир Петрович – канд. физ.-мат. наук, научный сотрудник Федеральной политехнической школы. E-mail: v.paschenko@gmail.com.
Калинин Владимир Анатольевич – канд. техн. наук, начальник отдела микросистемо-техники ОАО «Авангард». E-mail: vl_kalinin@mail.ru.
Ключевые слова
поверхностные акустические волны, МЭМС, сенсоры, ПАВ-резонаторы, пьезоэлектрик
Аннотация
Приведены результаты моделирования макетов МЭМС-ПАВ-сенсоров на слоистой структуре c использованием пьезопленки оксида цинка. По методу конечных элементов построены дисперсионные характеристики скорости поверхностной акустической волны Рэлея и Сезава, определена зависимость коэффициента электромеханической связи от относительной толщины пьезоэлектрика. Рассчитаны конструкционные параметры МЭМС-ПАВ-датчика, изготовлены и исследованы действующие лабораторные образцы на пластинах кремния с пьезопленкой оксида цинка.
Литература
1. Морган Д. Устройства обработки сигналов на поверхностных акустических волнах : пер. с англ. М. : Радио и связь, 1990. 416 с.
2. Гуляев Ю. В., Багдасарян А. С. Фильтры на поверхностных акустических вол-нах: состояние и перспективы развития // Радиотехника. 2003. № 8. С. 15–25.
3. Строганов К. А., Калинин В. А., Пащенко В. П. Преобразователь линейного ускорения консольного типа для эксплуатации в специальных условиях // Вопросы радиоэлектроники. 2012. Т. 1, № 1. С. 131–141.
4. Моделирование акселерометра по технологии микромеханики и акустоэлек-троники на структуре ниобат лития – кремний / К. А. Строганов [и др.] // Навигация и управление движением : матер. XVIII конф. молодых ученых. СПб., 2016.
Для цитирования
Разработка интегральных МЭМС-ПАВ-датчиков ускорения / К. А. Строганов, Е. М. Бакулин, В. П. Пащенко, В. А. Калинин // Техника радиосвязи. 2018. Вып. 2 (37). С. 74–82.
Ссылка на текст статьи в РИНЦ