МНОГОСЛОЙНЫЕ РЕАКЦИОННЫЕ НАНОПЛЕНКИ Ni/Al С ЭФФЕКТОМ САМОРАСПРОСТРАНЯЮЩЕГОСЯ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОГО СИНТЕЗА В ТЕХНОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
МНОГОСЛОЙНЫЕ РЕАКЦИОННЫЕ НАНОПЛЕНКИ Ni/Al С ЭФФЕКТОМ САМОРАСПРОСТРАНЯЮЩЕГОСЯ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОГО СИНТЕЗА В ТЕХНОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
DOI
10.33286/2075-8693-2020-45-71-79
Авторы
Корж Иван Александрович, канд. техн. наук, сотрудник АО «ОНИИП». E-mail: trs@oniip.ru.
Ключевые слова
самораспространяющийся высокотемпературный синтез, реакционные многослойные пленки Ni/Al, соединение компонентов
Аннотация
Приведены результаты экспериментов по технологии получения реакционных многослойных пленок Ni/Al, представлены параметры таких пленок – температура воспламенения и скорость распространения фронта горения, показан процесс соединения двух электронных компонентов.
Литература
1. Рогачев А. С. Волны экзотермических реакций в многослойных нанопленках // Успехи химии. 2008. № 77 (1). С. 22–38.
2. Adams D. P. Reactive multilayers fabricated by vapor deposition: a critical review // Thin Solid Films. 2015. Vol. 576, pp. 98–128.
3. Rogachev A. S. Vadchenko S. G. Baras F. Politano O. Rouvimov S. Sachkova N. V. Mukasyan A. S. Structure evolution and reaction mechanism in the Ni/Al reactive multilayer nanofoils // Acta Materiala. 2014. No. 66, pp. 89–96.
4. Характеристики материала Nanofoil. URL: www.indium.com/nanofoil/properties.
5. Способ получения многослойных энерговыделяющих наноструктурированных пленок для неразъемного соединения материалов: пат. 2479382 Рос. Федерация / Вадченко С. Г., Рогачев А. С.; опубл. 20.04.2013, Бюл. № 11.
6. Рогачев А. С., Мержанов А. Г. Безгазовое горение многослойных биметаллических нанопленок Ti/Al // Физика горения и взрыва. 2004. Т. 40, № 2. С. 45–51.
7. Seema Sen, Markus Lake, Peter Schaat. Al-based binary reactive multilayer films: Large area freestanding film synthesis and self-propagating reaction analysis // Applied Sur-face Science. February 2018.
URL:https://www.researchgate.net/publication/323384612_Al-based_binary_reactive_multilayer_films_Large_area_freestanding_film_synthesis_and_self-propagating_reaction_analysis.
Для цитирования
Корж И. А. Многослойные реакционные нанопленки Ni/Al с эффектом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза в технологии микроэлектроники // Техника радиосвязи. 2020. Выпуск 2 (45). С. 71–79. DOI: 10.33286/2075-8693-2020-45-71-79.