ВЫЯВЛЕНИЕ НЕОДНОРОДНОСТИ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК И ФАЗОВОГО СОСТАВА В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ ОКСИДА ОЛОВА МЕТОДОМ ПРОВОДЯЩЕЙ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ
ВЫЯВЛЕНИЕ НЕОДНОРОДНОСТИ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК И ФАЗОВОГО СОСТАВА В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ ОКСИДА ОЛОВА МЕТОДОМ ПРОВОДЯЩЕЙ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ
DOI
10.33286/2075-8693-2020-46-95-102
Авторы
Давлеткильдеев Надим Анварович, канд. физ.-мат. наук, доцент, старший научный сотрудник ОНЦ СО РАН. E-mail: trs@oniip.ru.
Мосур Евгений Юрьевич, канд. физ.-мат. наук, доцент, старший научный сотрудник ОНЦ СО РАН. E-mail: trs@oniip.ru.Соколов Денис Витальевич, младший научный сотрудник ОНЦ СО РАН.
Лобов Иван Андреевич, младший научный сотрудник ОНЦ СО РАН.
Ключевые слова
оксид олова, проводящая атомно-силовая микроскопия, неоднородность распределения проводимости.
Аннотация
Методом проводящей атомно-силовой микроскопии получены токовые изображения и ВАХ тонких пленок оксида олова, осажденных при различных температурах подложки. При анализе токовых изображений и ВАХ выявлено, что пленки оксида олова, сформированные при более высокой температуре подложки, состоят из фазы SnO2, однако включают локальные участки с повышенным сопротивлением, которые содержат фазу SnO.
Литература
1. Orlandi M. O. (Ed.) Tin Oxide Materials: Synthesis, Properties and Applications. Elsevier, 2019. 666 p.
2. Stjerna B., Granqvist C. G. Optical and electrical properties of SnOx thin films made by reactive r.f. magnetron sputtering // Thin Solid Films. 1990. Vol. 193–194 (Part 2). P. 704–711.
3. Celano U. (Ed.) Electrical atomic force microscopy for nanoelectronics. Springer, 2019. 408 p.
4. Болотов В. В., Давлеткильдеев Н. А., Коротенко А. А., Росликов В. Е., Стенькин Ю. А. Исследование слоев нанокомпозита пористый кремний – оксид олова с помощью метода спектральной эллипсометрии // Журнал технической физики. 2011. Т. 81, вып. 11. С. 52–57.
5. Давлеткильдеев Н. А., Мосур Е. Ю. Оценка фазового состава тонких пленок оксида олова на основе анализа спектров их оптических параметров // Техника радиосвязи. 2020. Вып. 1 (44). С. 104–109. DOI 10.33286/2075-8693-2020-44-104-109.
6. Cardarelli F. Materials Handbook: A Concise Desktop Reference, 3rd edition. Springer, 2018. P. 1190–1191.
7. Gladysz G., Chawla K. Coefficients of thermal expansion of some laminated ceramic composites // Compos. Part A. Appl. Sci. Manuf. 2001. Vol. 32. P. 173–178.
2. Stjerna B., Granqvist C. G. Optical and electrical properties of SnOx thin films made by reactive r.f. magnetron sputtering // Thin Solid Films. 1990. Vol. 193–194 (Part 2). P. 704–711.
3. Celano U. (Ed.) Electrical atomic force microscopy for nanoelectronics. Springer, 2019. 408 p.
4. Болотов В. В., Давлеткильдеев Н. А., Коротенко А. А., Росликов В. Е., Стенькин Ю. А. Исследование слоев нанокомпозита пористый кремний – оксид олова с помощью метода спектральной эллипсометрии // Журнал технической физики. 2011. Т. 81, вып. 11. С. 52–57.
5. Давлеткильдеев Н. А., Мосур Е. Ю. Оценка фазового состава тонких пленок оксида олова на основе анализа спектров их оптических параметров // Техника радиосвязи. 2020. Вып. 1 (44). С. 104–109. DOI 10.33286/2075-8693-2020-44-104-109.
6. Cardarelli F. Materials Handbook: A Concise Desktop Reference, 3rd edition. Springer, 2018. P. 1190–1191.
7. Gladysz G., Chawla K. Coefficients of thermal expansion of some laminated ceramic composites // Compos. Part A. Appl. Sci. Manuf. 2001. Vol. 32. P. 173–178.
Для цитирования
Давлеткильдеев Н. А., Мосур Е. Ю., Соколов Д. В., Лобов И. А. Выявление неоднородности распределения электрических характеристик и фазового состава в тонких пленках оксида олова методом проводящей атомно-силовой микроскопии // Техника радиосвязи. 2020. Выпуск 3 (46). С. 95–102. DOI: 10.33286/2075-8693-2020-46-95-102.