УМЕНЬШЕНИЕ ВЛИЯНИЯ ПАРАЗИТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ОТКЛИКОВ В УСТРОЙСТВАХ НА ПАВ ЗА СЧЕТ ШЕРОХОВАТОСТИ НА НЕРАБОЧЕЙ СТОРОНЕ ПЬЕЗОПОДЛОЖКИ
УМЕНЬШЕНИЕ ВЛИЯНИЯ ПАРАЗИТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ОТКЛИКОВ В УСТРОЙСТВАХ НА ПАВ ЗА СЧЕТ ШЕРОХОВАТОСТИ НА НЕРАБОЧЕЙ СТОРОНЕ ПЬЕЗОПОДЛОЖКИ
Авторы
Доберштейн Сергей Александрович, канд. техн. наук, сотрудник АО «ОНИИП», старший научный сотрудник ИРФЭ ОНЦ СО РАН, e-mail: trs@oniip.ru.
Косарев Борис Андреевич, канд. техн. наук, сотрудник АО «ОНИИП», научный сотрудник ИРФЭ ОНЦ СО РАН, e-mail: trs@oniip.ru.
Ключевые слова
объемные акустические волны; поверхностные акустические волны; паразитные акустические отклики; шероховатость; подавление
Аннотация
Исследовано подавление паразитных откликов объемных акустических волн в фильтрах на поверхностных акустических волнах за счет создания шероховатости на нерабочей стороне пьезоподложки на срезах YX/128º LiNbO3 (ПАВ Рэлея), YX/41º LiNbO3 (вытекающая ПАВ), YX/42º LiTa2O3 (вытекающая ПАВ) в диапазоне частот 96–289 МГц. Создание шероховатости на нерабочей стороне пьезоподложки приводит к рассеиванию паразитных ОАВ, уменьшает пульсации амплитудной частотной характеристики до 0,3 дБ в полосе пропускания ПАВ-фильтров и увеличивает их избирательность до 50–60 дБ.
Литература
1. Акустоэлектронные устройства обработки и генерации сигналов. Принципы работы, расчета и проектирования : монография / О. Л. Балышева, В. И. Григорьевский, Ю. В. Гуляев, В. Ф. Дмитриев, Г. Д. Мансфельд ; под ред. академика РАН Ю. В. Гуляева. М. : Радиотехника, 2012. 576 с.
2. Ken-ya Hashimoto. Surface Acoustic Wave Devices in Telecommunications. Springer-Verlag, Berlin Heideberg, 2000. 330 p.
3. Морган Д. Устройства обработки сигналов на поверхностных акустических волнах : пер. с англ. М. : Радио и связь, 1990. 416 с.
4. Уэйджерс Р. С. Паразитные акустические отклики в устройствах на поверхностных акустических волнах // ТИИЭР. Т. 64, № 5. С. 155–158.
5. Речицкий В. И. Акустоэлектронные радиокомпоненты : схемы, топология, конструкции. М. : Радио и связь, 1987. С. 96.
6. Doberstein S., Malyukhov V., Razgonyaev V. Wideband Three-Transducer SAW Filters Using Unidirectional IDTs on U-shaped MSCs with Insertion Loss of 1 dB // Proc. IEEE Ultrasonics Simposium, 1999, pp. 43-46.
7. Доберштейн С. А. Разработка низкочастотных ПАВ-фильтров и высокочастотных ПАВ-микросборок в отечественных корпусах под поверхностный монтаж // Техника радиосвязи. 2015. Выпуск 1 (24). С. 92–103.
8. Kuroda Y., Ichikawa S., Mitobe S., Koshino M. Wide Bandwidth SAW Resonator Filter Using 360 Y-X LiTaO3 Substrate // IEICE Trans. Fundamentals. Vol. E78-A, no. 5, May 1995, pp. 566–568.
9. Доберштейн С. А. Разработка балансных ВЧ-фильтров на ПАВ с улучшенной температурной стабильностью на танталате лития // Техника радиосвязи. 2017. Выпуск 4(35). С. 94–101.
Для цитирования
Доберштейн С. А., Косарев Б. А. Уменьшение влияния паразитных акустических откликов в устройствах на ПАВ за счет шероховатости на нерабочей стороне пьезоподложки // Техника радиосвязи. 2022. Выпуск 3 (54). С. 111–122.